繁花系列固晶平台
1、高度集成,模块化设计,结构超级简单,钢轨底座一体研磨成型,刚性强,精度稳定性高,一致性好。
2、各项机械精度均由高精密设备加工保证,有效避免误差累积及人为组装能力因素的影响。
3、电机性能出众,搭配使用德康威尔品牌驱动器,在3G加速度的情况下,可实现2ms整定到2个脉冲,适用于高速度、高加速度、高频率运行工况,承诺在实现5ms整定到5个脉冲的条件要求下,500Hz以内不存在的共振点。
4、大批量生产时,电机性能的一致性高,可以实现一套参数大批量复制,无需对各个机台单独精调参数。
5、四条不锈钢导轨作为导向,对晶圆盘等负载的偏心或悬臂安装形成天然的稳定优势,极易实现机台性能要求。
6、德康威尔拥有本繁花系列平台的全部知识产权,使用安心。
7、价格低廉,平台标配著名品牌高性能光栅尺读数头,且包含德康威尔品牌驱动器,批量价格仅为4699.00元/台起售。
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